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一种三氯氢硅合成湿法除尘装置,包括湿法除尘釜,所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管,湿法除尘釜底部连接沉淀罐,湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器,水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端,所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。能有效的将大...该专利属于诺贝尔(九江)高新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过诺贝尔(九江)高新材料有限公司授权不得商用。
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一种三氯氢硅合成湿法除尘装置,包括湿法除尘釜,所述湿法除尘釜中部连接三氯氢硅合成气体输入管,湿法除尘釜底部连接沉淀罐,湿法除尘釜下端经料液泵连接水冷却器,水冷却器出口连接湿法除尘釜顶端,所述湿法除尘釜顶端设有三氯氢硅气体输出管。能有效的将大...