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一种检测光学镀膜机镀膜膜厚均匀性的方法，包括下列步骤：第一步：设计本发明双腔滤光片膜系；第二步：模拟计算膜层厚度变化对所诉双腔滤光片峰值透过率及中心波长的影响；第三步：计算尖峰极值点透过率比值与膜层光学厚度比值，中心波长与总光学厚度，两组数...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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