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一种单晶随炉等温退火方法及工装，属于单晶制备技术领域，特别是涉及一种物理气相传输法单晶生长结束后的退火方法及工装。在物理气相传输法单晶生长结束之后,将坩埚顶部的散热通道上加盖保温塞，同时降低加热功率约10-70%，然后保温1-48小时；最后...
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