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工作台及使用该工作台的曝光装置制造方法及图纸
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下载工作台及使用该工作台的曝光装置的技术资料
文档序号:7613338
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在通过真空吸附来吸附保持工件的工作台中,即使是中央部变形成凸的工件,也能矫正其翘曲而以整个面吸附保持。若输送到工件(W),则销(5a)上升并接受工件后,销(5a)下降。由此工件置于工作台(4)上。轴环部件(7)也与销(5a)一起下降,轴环部...
该专利属于优志旺电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。
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