下载温度控制系统及具有该系统的半导体自动化测试机台的技术资料

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一种温度控制系统及具有该系统的半导体自动化测试机台,该半导体自动化测试机台上具有至少一测试臂,而该测试臂前端设有一测试头,且该测试臂上设有一闭回路冷却循环系统,该闭回路冷却循环系统包含有一个管道,该管道与该冷却装置接触且内部具有工作流体,其...
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