下载一种平板式氧传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:7611469

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本发明公开了一种平板式氧传感器及制备方法,包括由七层厚度为0.2-0.25mm的氧化锆陶瓷生片制备成的传感器芯片,芯片从上往下依次为第一层与第二层陶瓷生片组成的信号功能层、第三层与第四层和第五层陶瓷生片组成的参考通道功能层,第六层与第七层陶...
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