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本发明涉及用于LCD制造设备的半导体装置的氮气注入装置，其可以轻易制造，因此可降低生产成本，并且使一氮气注入方向对应反应副产品的流向，因此可有效地注入氮气而不会干扰反应副产品的流动。该氮气注入装置包含一对具有凸缘的凸缘管，一沿着耦接在一起的...
该专利属于李承龙所有，仅供学习研究参考，未经过李承龙授权不得商用。

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