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本发明提供了一种显影装置，包括显影腔、设于显影腔内供一圆片放置的托盘、位于托盘上方的可调节的清洗喷嘴和显影液喷嘴、及一控制模块，所述显影装置进一步包括一雾化装置及一位于所述托盘上方的雾状喷嘴，所述雾化装置与雾状喷嘴受所述控制模块控制，所述雾...
该专利属于无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。

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