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一种飞轮用微型真空阀涉及真空阀技术领域，该真空阀包括抽气接口(1)、第一O型密封圈(2)、阀体(3)、阀芯(4)、第二O型密封圈(5)；阀体(3)为飞轮真空腔体的一部分，旋转真空腔体使阀体(3)转动；阀芯(4)为双螺纹结构，外螺纹与内螺纹旋...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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一种飞轮用微型真空阀涉及真空阀技术领域，该真空阀包括抽气接口(1)、第一O型密封圈(2)、阀体(3)、阀芯(4)、第二O型密封圈(5)；阀体(3)为飞轮真空腔体的一部分，旋转真空腔体使阀体(3)转动；阀芯(4)为双螺纹结构，外螺纹与内螺纹旋...