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基板筒、基板处理装置、基板处理系统、基板处理方法、控制装置及显示元件的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:7574428
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基板筒(1)具备收纳片材基板(FB)的主体(2)和保持信息的信息保持部(IC)。保持部(IC)可以是IC芯片或者条形码。该信息涉及基板(FB)的规格(材质、厚度等)。该信息还涉及用于基板(FB)的工艺。该信息还涉及基板(FB)的缺陷。另外,...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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