下载气体温湿度调节方法及气体供给装置的技术资料

文档序号:7574015

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在假设包含所希望的温度(Td)及相对湿度(Hd)时所应该包含的水蒸气量的气体,且将该气体的相对湿度达到100%的温度作为中间目标温度(Tc)时,根据所希望的温度(Td)及相对湿度(Hd)计算该中间目标温度(Tc),通过混合气体与水蒸气,使气...
该专利属于株式会社日立高新技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。