下载使用等离子、活性或还原气体的气氛来清洁铜引线的系统和方法的技术资料

文档序号:7573725

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本发明涉及一种方法和设备(100),用于在引线接合工艺中使用引线(20)之前、采用等离子、活性或还原气体对来自接合引线(20)的氧化物进行清洁。...
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