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本发明获得一种能够减小因基板接合后的残余应力导致的基板形变且能够改善成品率的测力传感器及其制造方法。在变位部在经由受压部承受来自外部的负荷时变位且具备电阻对应于该变位量而变化的多个压电电阻元件的传感器基板及支承该传感器基板的基体基板上分别设...
该专利属于阿尔卑斯电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔卑斯电气株式会社授权不得商用。

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