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非易失性闪速存储单元、阵列及其制造方法技术
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文档序号:7563737
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一种制作在第一导电类型的基本上单晶的衬底上的改进的分裂栅非易失性存储单元,包括第二导电类型的第一区域、第二导电类型的第二区域、以及在所述衬底上的所述第一区域和所述第二区域之间的沟道区。所述存储单元具有在所述沟道区的一部分上的选择栅,在所述沟...
该专利属于美商矽储科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美商矽储科技股份有限公司授权不得商用。
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