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本发明一种硅片清洗液，由表面活性剂、乙醇、氟化氢、EDTA二钠、三乙醇胺、柠檬酸、去离子水，进行搅拌混合，形成清洗液，本发明制备方法简单，对环境无不利影响，且表面去污力强，可保持清洁度的持续性，对于多晶硅片等物料具有良好的清洁效果，并且提高...
该专利属于镇江市港南电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江市港南电子有限公司授权不得商用。

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