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一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法技术
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文档序号:7536399
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本发明公开了一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法,包括如下步骤:(1)选取洁净的蓝宝石衬底基片,在其表面涂布六甲基二硅氮烷,烘烤,使其反应完全;(2)涂布紫外光固化纳米压印胶材料,形成压印胶层;(3)将压印模板压入上述压印胶层,紫外曝光,曝...
该专利属于苏州锦元纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州锦元纳米科技有限公司授权不得商用。
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