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一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法技术
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文档序号:7510042
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本发明公开了一种大厚度周期极化铁电晶体材料的制备方法,包括:在铁电晶体材料的+z面蒸镀透明电极;将该蒸镀有透明电极的铁电晶体材料的+z面与另一铁电晶体材料的+z面进行键合,得到复合铁电晶体;在该复合铁电晶体上下两面均蒸镀金属电极,然后对蒸镀...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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