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一种带有活性粒子检测部件的等离子薄膜沉积装置，其射频电极与接地电极间的等离子体中部区域处设置有一个活性粒子吸引管，所述活性粒子吸引管与置于所述腔室外部的一个活性粒子的检测部件连通，所述检测部件与真空泵连通；所述检测部件通过数据传输线与一个控...
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