下载去磷硅玻璃控制扩散方块电阻的技术资料

文档序号:7502350

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本实用新型公开了一种去磷硅玻璃控制扩散方块电阻,包括设置在P型硅区域和磷硅玻璃层之间的N型硅区域,所述N型硅区域的厚度≤1μm;与现有技术相比,本实用新型的方块电阻值提高,有利于解决由于返工片引起的效率偏低的问题。降低生产成本,更加高效利用...
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