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本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种新型前段开口片盒。本发明公开了一种新型前段开口片盒，通过采用全黑的不透光的开口片盒和设置压力/红外线传感器及相对应的指示灯，避免制程中铜的光致电化学反应，方便工作人员进行检查，并降低了投资成本，同时，在...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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