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高纯锗区熔炉用多个中高频加热线圈制造技术
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文档序号:7490456
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本实用新型涉及用于制备探测器级锗多晶的专用设备,具体是指一种高纯锗区熔炉用多个中高频加热线圈,所述高频加热线圈固定于小车上,并环绕于装有原料锗锭的石英管外部,所述高频加热线圈为宽度1~3cm的双层线圈,所述高频加热线圈由至少两个加热线圈串联...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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