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柔性PET基底ITO薄膜磁控溅射制备方法，涉及电子材料技术。本发明包括以下步骤：(1)衬底预处理：去除衬底表面的污垢；(2)溅射前的准备：将清洗好的衬底置于真空环境中；(3)预溅射：在氩气环境下进行预溅射；(4)溅射镀膜：完成预溅射后，对有...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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