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使夹具与多个光束照射装置(20)相对地移动，所述多个光束照射装置(20)包括：供给光束的照明光学系统(20c)；空间光调制器(25)，将排列于两个方向的多个面镜的角度予以变更，从而对光束进行调制；驱动电路(27)，基于描绘数据来驱动空间光调...
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