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本发明涉及激光微细加工工艺技术，尤其是一种激光-水射流复合微细加工工艺及其装置。复合微细加工工艺为，水射流后置于激光束，并将水射流倾斜，同时作用于材料表面；水射流偏置距离的参数为：水射流偏置距离即激光束作用点与后置的水射流冲蚀点之间距离范围...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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