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一种闭环压电薄膜泵，其包括压电振子、流量传感器、压电泵基体、电路控制模块、进液阀以及出液阀，所述流量传感器和压电泵基体通过MEMS工艺集成为一整体结构，所述流量传感器设有微通道及信号转换模块，所述流量传感器检测流体的体积并将检测结果转化成电...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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