下载一种炭/炭加热器抗冲刷C/SiC涂层的制备方法的技术资料

文档序号:7475028

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本发明公开了一种炭/炭加热器抗冲刷C/SiC涂层的制备方法,该方法为:一、将炭/炭加热器置于CVD炉内,通入碳源气体,在炭/炭加热器表面生成一层热解炭涂层;二、将装有固体硅料的石墨坩埚置于反应炉内,将表面生成热解炭涂层的炭/炭加热器置于石墨...
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