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本发明涉及一种光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置。该装置中光束分成一束测量光束和参考光束，实现测量光路斜入射被测物体以及对称接收反射光，反射光与参考光产生干涉，从干涉图样中获得来自于亚表面缺陷的散射光信息，抑制从表面直接反射的光以及系统中的...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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