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一种电感及形成方法，所述电感包括：衬底，位于所述衬底表面的低K层间介质层，位于所述低K层间介质层上的电感线圈，位于所述电感线圈表面的保护层。由于位于半导体衬底和电感线圈的层间介质层为低K层间介质层，降低了电感线圈和衬底之间的介电常数，降低了...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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