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本实用新型公开了一种硅片背面缺陷正面打点的定位结构，包括安装硅片的片盒，所述片盒的四周各设有一标尺，其中两根相邻的标尺外侧分别设有一激光定位灯，每个激光定位灯发出的激光与不相邻的两标尺相交，且交点所在的刻度值相同。本实用新型通过对具体缺陷位...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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