下载用于形成具有嵌入应力源的高性能场效应晶体管的方法和结构的技术资料

文档序号:7465195

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本发明提供一种高性能半导体结构和一种用于制造此结构的方法。所述半导体结构包括位于半导体衬底(12)的上表面(14)上的至少一个栅极叠层(18),例如,FET。所述结构进一步包括第一外延半导体材料(34),其在所述至少一个栅极叠层的沟道(40...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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