下载一种检测大口径光学系统波前的装置的技术资料

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本发明是一种大口径光学系统波前的检测装置,包括干涉仪、五维调整台、数控转台、数控电动位移台、标准自准直平面镜、二维调整架、计算机控制和数据处理系统,其特点在于:将大口径光学系统波前划分成多个子孔径波前,由干涉仪和标准自准直平面镜检测大口径光...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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