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抛光刷,抛光方法,抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法制造方法及图纸
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下载抛光刷,抛光方法,抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法的技术资料
文档序号:7454728
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本发明涉及一种抛光刷,抛光方法,抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法。一种抛光刷,所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分上供应抛光液,一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触旋转进行抛光的抛光方法。该抛光刷(2...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。
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