本发明专利技术涉及一种抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法。一种抛光刷，所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分上供应抛光液，一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触旋转进行抛光的抛光方法。该抛光刷(20)，相对于其轴心(21)大致正交的方向上突出设置毛状材料(22)，两个外径D1、D2不同的部分在轴向方向上交替地排列配置，同时，构成其小直径D2的部分的毛状材料的硬度比构成大直径D1的部分的毛状材料的硬度大。为此，用树脂加固构成抛光刷(20)中的小直径D2的部分的毛状材料。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及抛光刷、抛光构件、利用所述抛光刷和抛光构件的抛光方法及抛光装置，特别是，涉及适合于在小直径磁盘用玻璃基板的内周侧端面的抛光中使用的抛光刷、抛光构件、抛光方法及抛光装置，以及磁盘用玻璃基板及磁盘的制造方法。
技术介绍
目前，信息记录技术，特别是磁记录技术，伴随着IT业的迅猛发展，要求飞跃性的技术革新。对于装载在硬盘驱动器(HDD)等信息记录装置上的磁盘，根据高容量化的需要， 要求能够实现40Gbit/inch2 lOOGbit/inch2以上的信息记录密度的技术。作为磁盘等磁记录介质用的基板，过去广泛采用铝系合金基板，但是，最近，作为适合于高记录密度化的磁盘用基板，玻璃基板引起人们的关注。玻璃基板由于比铝系合金基板刚性高，所以适合于磁盘装置的高速旋转，另外，由于得到平滑的表面，所以容易使磁头的上浮量降低，能够提高记录信号的S/N比，所以，玻璃基板是合适的。另外，为了使磁盘高记录密度化，对于玻璃基板的加工精度要求也很高，不仅对于玻璃基板的主表面如此，对于端面形状也具有同样的要求。作为这种玻璃基板的端面抛光方法，在下面的专利文献1中，揭示了一种抛光方法，所述抛光方法，将在中心部具有圆孔的圆盘状玻璃基板浸渍到含有游离磨料的抛光液中，利用上述抛光液，使该玻璃基板的内周端面与抛光刷或抛光垫旋转接触，进行抛光。图10是用于说明这种现有的抛光方法的抛光装置的一个例子的剖视图。在图10 中，60是作为抛光对象的磁盘用玻璃基板，61是容纳多个上述玻璃基板60并将其浸渍于抛光液中的基板盒，65是可自由转动地固定保持基板盒61的旋转保持台，62是插入到多个叠层的上述玻璃基板60的内周侧圆孔中的抛光刷，68是容纳抛光液69的抛光液容纳部。上述基板盒61在其下部的适当的部位上设置有抛光液流通孔70，以便盒内外部的抛光液能够流通。上述旋转保持台65结合到旋转轴66上，可以借助向正反两个方向旋转驱动该旋转轴66的旋转驱动装置67进行旋转。另外，上述抛光刷62连接到旋转驱动装置64的旋转轴上，能够进行正反两个方向的旋转。进而，该抛光刷62借助凸轮机构(图中未示出) 将刷毛63压到上述玻璃基板60的内周侧端面上，同时可以沿着刷的旋转轴方向往复摆动。 过去，利用这种抛光装置，例如，在使上述旋转保持台65和抛光刷62在彼此相反的方向上旋转的状态下进行抛光。专利文献1 特开平11-221742号公报
技术实现思路
随着信息化社会的进展，对于磁盘的高记录密度化和低价格化的要求日益增高。对于磁盘的端面形状，也要求更加平滑化、提高加工精度以及缩短加工时间，提高辅助材料的寿命。另外，上述硬盘驱动器不仅装载在现有的个人计算机等上，近年来，用于便携式电话、便携式信息终端(PDA等)、汽车导航系统等中的所谓的移动式的用途也快速扩展。在考虑到这种移动式的用途的情况下，不仅要求磁盘的耐冲击性，而且，由于能够装载硬盘驱动器的空间极为有限，所以要求硬盘驱动器本身的小型化，因此，也要求装载在硬盘驱动器上的磁盘小型化。因此，作为这些适合于移动式用途的磁盘，作为现有技术的磁盘，提出了与比较小型的与所谓2. 5英寸磁盘直径相比更小的磁盘，例如，外径为48mm、内径为12mm的 1. 8英寸磁盘，外径为27. 4mm、内径为7mm的1英寸磁盘，外径为22mm、内径为6mm的0. 85 英寸的磁盘等方案。另外，伴随着这种磁盘的小直径化，磁盘基板的厚度也薄型化。例如，过去，磁盘基板的厚度为0. 635mm，在谋求磁盘的小直径化的情况下，要求磁盘基板的厚度为0. 581mm、 0. 381mm，或者更小。对于这种小直径化、薄膜化的磁盘用玻璃基板，有必要以良好的尺寸精度将内周侧端面精加工成规定的端面形状，同时将其表面精加工成平滑的镜面状态。而且，要求以低成本稳定地大量提供基板之间没有偏差、高品质精加工的磁盘用玻璃基板。但是，在利用上述专利文献1揭示的现有技术的抛光方法制造多个磁盘用玻璃基板的情况下，存在着玻璃基板之间的内周侧端面形状、尺寸精度的偏差，不能高度平滑地精加工内周侧端面的表面等问题，并且存在着尽管对可再加工的基板进行再加工，但是，不得不将其它次品进行废弃处理，不管那种情况都会提高成本的问题。因此，从满足小直径化成为当务之急的磁盘的高记录密度化和降低价格的要求的观点出发，本专利技术的第一个目的是，提供一种以低的成本高效率地对磁盘用玻璃基板的内周侧端面的表面状态进行高品质的精加工的抛光刷、抛光构件、抛光方法及抛光装置。另外，本专利技术的第二个目的是，提供一种磁盘用玻璃基板及磁盘的制造方法，通过具有应用该抛光方法的抛光工序，可以防止发生由于基板的内周侧端面的表面状态引起的障碍，实现高记录密度化。通过本专利技术人的研究发现在利用现有技术的抛光方法进行玻璃基板的内周侧端面的加工的情况下，在玻璃基板的内周侧端面中，与其主表面正交的侧壁面以及分别形成在该侧壁面与正面和背面的主表面之间的两个倒角面(中间面)中的每一个，或者其中的一个，不能被精加工成良好的形状，而且很难将其端面进行高度平滑地精加工。特别是，当将玻璃基板的内径制成小直径时，这种不恰当的情况变得显著。另外，当在将多个玻璃基板重叠的状态下同时进行抛光加工时，基板之间的内周侧端面的表面状态的偏差较大。另外，用于前述图10所示的现有技术的抛光方法的抛光刷的结构为，在将多个毛状材料并列的状态下，将中央部分折叠，把将该折叠部分夹持在长条状的金属构件上的称为槽状刷的刷毛卷绕熔接到圆棒(细圆柱)状的轴心上，因为对于上述轴心，需要使槽状刷能够卷绕的程度的刚性，所以，不能使轴心过细。因此，当玻璃基板的内径成为小直径时，不得不缩短刷毛的长度，刷毛的弹性力变得不足，高度平滑地对端面进行精加工变得很困难。 特别是，当玻璃基板的内径为6 7mm左右时，不能应用这种抛光刷。另外，现有的抛光刷， 由于轴向方向的外径是一样的，所以，当使抛光刷的外径尺寸比玻璃基板的内径大时，相对于内径而言，抛光刷所占据的体积变大，即使一面使抛光刷相对于玻璃基板摆动一面进行抛光加工，也很难稳定地向端面部分供应抛光剂，容易发生加工品质的波动。因此，本专利技术人基于上述一系列的认识，锐意研究，从而完成肋本专利技术。S卩，本专利技术为了解决前述课题，采用以下的结构。(结构1)一种抛光刷，所述抛光刷用于一面向中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面部分供应抛光液，一面使抛光刷与前述玻璃基板的内周侧端面接触并旋转以进行抛光的抛光方法，其特征在于，前述抛光刷，相对于其轴心在大致垂直的方向上突出地设置毛状材料，排列配置两个外径不同的部分，同时，其直径小的部分与直径大的部分相比，毛状材料的硬度大。(结构2)如结构1中所述的抛光刷，其特征在于，利用树脂将前述抛光刷中的直径小的部分的毛状材料加固。(结构幻一种抛光方法，所述抛光方法对中心部具有圆孔的圆盘状的玻璃基板的内周侧端面进行抛光，其特征在于，准备抛光刷，所述抛光刷配备有在轴心方向上突出设置有相互不同的外形部分的毛状材料，且外形部分的小直径部分比大直径部分的毛状材料的硬度大，一面向前述玻璃基板的内周侧端面部分供应抛光液，一面利用前述抛光刷，将该抛光刷大致垂直地插入到前述圆孔内，使前述抛光刷相对于该圆孔的端面相对移动并且进行接触旋转，借此，抛光本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：鹿岛隆一，植田政明，重田文彦，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：
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