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本发明为一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，包括MEMS开关、T型结、参考移相位共面波导传输线、MEMS电容电感移相传输线、传输线直角转角、MEMS开关电极、引线、隔离电阻及介质衬底；参考移相位共面波导传输线及嵌入MEMS电容...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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