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多晶硅还原系统及其还原气体原料的进料方式。该多晶硅还原系统包括:鼓泡式汽化器;氢气加热器;分别与鼓泡式汽化器和氢气加热器相连的多个静态混合器;以及分别与相应的静态混合器相连的多个多晶硅还原炉。本发明利用氢气在三氯氢硅液体中鼓泡,同时外部热源...该专利属于内蒙古盾安光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过内蒙古盾安光伏科技有限公司授权不得商用。
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多晶硅还原系统及其还原气体原料的进料方式。该多晶硅还原系统包括:鼓泡式汽化器;氢气加热器;分别与鼓泡式汽化器和氢气加热器相连的多个静态混合器;以及分别与相应的静态混合器相连的多个多晶硅还原炉。本发明利用氢气在三氯氢硅液体中鼓泡,同时外部热源...