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基于转印技术的微纳薄膜压力传感器及其制备方法技术
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文档序号:7442001
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本发明公开了一种基于转印技术制作的微纳薄膜压力传感器及其制备方法。该传感器包括传感组件、转接环、管座、管帽、内引线、紧固件、密封圈、输出电缆以及引压口;其中传感组件包括器件衬底、金属电极、压敏电阻和转印介质。本发明的传感器由于在器件衬底上增...
该专利属于李策;杨邦朝;陈信琦所有,仅供学习研究参考,未经过李策;杨邦朝;陈信琦授权不得商用。
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