下载一种电感应的可变浅结作为源漏区的浮栅型快闪存储器的技术资料

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一种可变浅结作为源漏区的浮栅结构快闪存储器,在基底P型半导体材料上方的两侧设有重掺杂N型半导体区域分别构成源极、漏极,基底中央区域的正上方依次设有底部遂穿层、浮栅存储层和顶部阻挡层,顶部阻挡层上方设有控制栅极;其中,浮栅存储层采用分裂结构,...
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