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基板处理设备制造技术
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文档序号:7435426
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本发明提供一种串列式多室基板处理设备,其具有简单的构造,能够降低膜剥离导致的粒子的影响,且能够安装多个处理室。在本发明的一个实施方式中,传送机器手的无关节的臂(4)布置在能够抽气的第一处理室(1)内,其中臂(4)具有基板保持部(4a)且在保...
该专利属于佳能安内华股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佳能安内华股份有限公司授权不得商用。
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