下载一种芯片切割方法的技术资料

文档序号:7435368

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本发明涉及一种芯片切割方法,包括交替进行若干次横向切割和若干次纵向切割,具体步骤:(一)首次横向切割,间隔N列晶粒切割,所述N为整数且N≥2;首次纵向切割,间隔M列晶粒切割,所述M为整数且M≥1;(二)后续横向切割和/或后续纵向切割,间隔一...
该专利属于成都先进功率半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都先进功率半导体股份有限公司授权不得商用。

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