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本发明提供一种基于Abbe矢量成像模型获取掩模三维矢量空间像的方法，具体步骤为：将掩模图形M栅格化为N×N个子区域；将光源面栅格化成多个点光源，用每一栅格区域的中心点坐标(xs，ys)表示该栅格区域所对应的点光源坐标；计算各点光源照明时非理...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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