下载氮化物单晶的制造方法及其装置的技术资料

文档序号:7428070

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本发明涉及氮化物单晶的制造方法及其装置,本发明提供一种氮化物单晶的制造方法,其为使用含有助熔剂和原料的溶液来制造氮化物单晶的方法,其特征在于,使用的生长装置包括:用于容纳所述溶液的多个坩埚、用于加热所述坩埚的发热体、容纳所述多个坩埚并由热传...
该专利属于日本碍子株式会社;国立大学法人大阪大学所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社;国立大学法人大阪大学授权不得商用。

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