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本发明公开一种面型蒸镀源及其蒸镀方法与系统，将至少一种蒸镀材料披覆于一蒸镀源基板的其中一面作为面型蒸镀源，该蒸镀材料分布的区域为蒸镀材料汽化后可涵盖该欲蒸镀基材的区域内，以一加热装置装设于可加热蒸镀源基板的区域内，通过该加热器对该面型蒸镀源...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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