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本发明提供了一种发光二极管外延片、芯片及其制作方法。该发光二极管外延片的制作方法，具体如下：首先，提供发光二极管晶圆片；其次，将具有通孔的掩模板紧贴在所述晶圆片的表面，通过真空镀膜机在所述晶圆片的表面形成折射率小于1.5的粗糙结构；然后，分...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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