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本发明揭露一种薄膜沉积装置，包括：一反应腔；位于该反应腔内的一晶圆载具，该晶圆载具用以承载至少一晶圆，其中，该晶圆载具包括一实质上封闭的转动壳；一加热模块，位于该转动壳内，用以加热该晶圆；一驱动模块，位于该转动壳的底部，用以驱动该转动壳旋转...
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