下载晶种保持构件及使用该晶种保持构件的多结晶硅制造方法的技术资料

文档序号:7406820

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本发明提供一种晶种保持构件及使用该晶种保持构件的多结晶硅制造方法,通过在任意部位形成折离用凹部,在施加破坏载荷时能够在该凹部产生应力集中,从而以比以往小的负荷进行折断。此外,通过沿着该凹部传播破裂,能够防止在不希望的晶种保持构件的部位传播破...
该专利属于东洋炭素株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东洋炭素株式会社授权不得商用。

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