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本发明描述用于从工件各向同性蚀刻金属、同时回收且重新构成化学蚀刻剂的方法及设备。各种实施例包含用于蚀刻的设备及方法，其中以连续回路再循环方案再利用所述经回收且重新构成的蚀刻剂。可实现稳定状态条件，其中反复重复这些工艺，且偶尔排出及进料，以补...
该专利属于诺发系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺发系统有限公司授权不得商用。

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