下载制造阵列基板的方法的技术资料

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一种制造阵列基板的方法包括:在包括在像素区域中的晶体管区域的基板上形成第一金属层;在第一金属层上形成栅绝缘层、多晶硅的有源层;在基板整个表面上形成第二金属层;构图第二和第一金属层形成栅线、有源层上的蚀刻阻止部以及栅极,栅线接触栅极一端;形成...
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