下载网状透明电极的制作方法的技术资料

文档序号:7371390

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本发明涉及一种网状透明电极的制作方法,其特点是包括以下步骤:首先,在LED外延生长的过程中,对GaN材料进行沉积。接着,当LED外延生长完成后,进行透明电极层的沉积。然后,将沉积后的透明电极层制作成网格状层。通过网格状的高介电常数透明电极层...
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