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文档序号:7369916

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本发明涉及硅的精制和除杂方法,即从较低纯度的硅获得较高纯度、特别是低硼、低磷杂质含量的、满足半导体和电子元器件所需的纯度较高的硅原料的方法。现有的高纯硅制造方法,存在着能耗大、生成环境危害因子、成本高、工艺复杂、投资大等问题,本发明采用将硅...
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