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一种氧化锌基肖特基薄膜晶体管制造技术
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文档序号:7368907
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本发明提供一种氧化锌基肖特基薄膜晶体管,属于半导体技术领域。该氧化锌基肖特基薄膜晶体管包括一栅电极,一栅绝缘介质层,一半导体导电沟道区,一源区和一漏区,所述栅电极位于玻璃或者塑料衬底之上,所述栅绝缘介质层位于玻璃和栅电极之上,所述半导体导电...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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